氮氫檢漏和氦氣檢漏、鹵素檢漏及水泡法或壓降法檢漏的原理類似，均是在被檢工件內(nèi)部充注高壓氣體，只是充注的氣體不同。由這幾種檢漏方法轉(zhuǎn)換為氮氫檢漏非常方便，只要改變氣源，用氮氫檢漏儀進行檢漏即可。
1、氦質(zhì)譜檢漏儀實際上可以說是一個檢氦儀，通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。而對氦的檢測則使用的是質(zhì)譜儀，是只檢測氦的專用質(zhì)譜儀，這種質(zhì)譜儀將其它質(zhì)量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。質(zhì)譜示意圖如下圖：質(zhì)譜儀要想正常工作，需要真空環(huán)境。
2、⑹正負混合壓式氣密性檢測集成正壓和負壓兩種測試模式，支持正壓式和負壓式兩種方法。正負混合壓式氣密性檢測 儀器特點：針對敞開型的產(chǎn)品（有孔可以抽氣或充氣），可根據(jù)真實的產(chǎn)品防護等級狀態(tài)調(diào)整測試的壓力。應用范圍：音響喇叭、LED 燈具、汽車、家電、醫(yī)療、閥體和電子元件等。
3、氦質(zhì)譜檢漏法這種方法通過在產(chǎn)品或測試樣品周圍施加氣體，并使用檢漏儀器檢測氣體泄漏來評估產(chǎn)品的氣密性能。常用的檢測氣體包括氦氣和氮氣等。優(yōu)點：可以檢測到微小的氣體泄漏，具有較高的敏感性。檢測精確，能較準確的找到漏點。缺點：需要專用的檢漏儀器，設備成本較高。
4、多采用氦質(zhì)譜檢漏儀的負壓模式既真空模式檢漏。
1、氦質(zhì)譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。
2、氦質(zhì)譜檢漏儀是現(xiàn)代工業(yè)中不可或缺的設備，廣泛應用于航空、航天、電子、醫(yī)療等領域。它能夠有效地檢測出微小的氣體泄漏，保證產(chǎn)品質(zhì)量和安全。通過精準的檢測，不僅能夠確保產(chǎn)品的密封性能，還能及時發(fā)現(xiàn)潛在問題，避免不必要的損失。
3、氦質(zhì)譜檢漏儀實際上是一個專用于檢測氦氣含量的儀器，通過測量氦氣濃度來判斷是否有泄漏。檢測氦氣使用的質(zhì)譜儀專門屏蔽了其他質(zhì)量數(shù)的氣體，確保僅檢測氦氣。質(zhì)譜儀在正常工作時需要真空環(huán)境，至少要達到10-3 mbar以下，以實現(xiàn)分子流狀態(tài)，確保穩(wěn)定運行。因此，檢漏儀還包括高真空系統(tǒng)。
4、氣體流量氣密性檢測儀：用于測量流量變化，評估產(chǎn)品的氣密性能，以及通氣流量。- 氦質(zhì)譜檢漏法這種方法通過在產(chǎn)品或測試樣品周圍施加氣體，并使用檢漏儀器檢測氣體泄漏來評估產(chǎn)品的氣密性能。常用的檢測氣體包括氦氣和氮氣等。優(yōu)點：可以檢測到微小的氣體泄漏，具有較高的敏感性。
5、最后，氦質(zhì)譜檢漏儀在實際應用中具有廣泛的用途。例如，在工業(yè)生產(chǎn)中，它常被用于檢測各種管道、閥門和密封件的泄漏情況，以確保生產(chǎn)過程的安全性和效率。
6、質(zhì)量流量法：主要用在發(fā)動機缸體變速箱殼體總成測試上，可減少溫度等環(huán)境因素對產(chǎn)品的影響。充氣時，同時往產(chǎn)品端和對比容腔端同時充氣，穩(wěn)壓后停止充氣。若產(chǎn)品端有泄漏，容腔內(nèi)的氣就會往產(chǎn)品端流動，此時可以用質(zhì)量流量計測試容腔端往產(chǎn)品端的泄漏率。
可燃可爆。根據(jù)查詢相關公開信息顯示，不使用氫氣，是因為氫氣有可燃可爆的危險性。氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏也是無損檢測（X射線、渦流、超聲等）的多種方法中的一種，是壓力容器無損檢測的最佳形式。
氮氫檢漏和氦氣檢漏、鹵素檢漏及水泡法或壓降法檢漏的原理類似，均是在被檢工件內(nèi)部充注高壓氣體，只是充注的氣體不同。由這幾種檢漏方法轉(zhuǎn)換為氮氫檢漏非常方便，只要改變氣源，用氮氫檢漏儀進行檢漏即可。
玻璃制造和電子微芯片制造：在制造過程中，氫氣被加入氮氣保護氣中以去除殘余的氧。氦氣的用途：真空檢漏：氦氣因其優(yōu)異的滲透性和擴散性，被廣泛應用于真空檢漏領域。通過向待檢系統(tǒng)充入氦氣，然后使用氦質(zhì)譜檢漏儀檢測泄漏出的氦氣，可以快速、準確地確定系統(tǒng)中的泄漏位置。
實施時將成本很低的氮氫混合氣體（出于安全和市場采用具有國際論證的安全不可燃氣體5%氮氣+5%氫氣的混合比例）充入被檢工件，檢漏儀以氫氣為示蹤氣體，氫氣逃逸性很高，不像氦氣粘滯性很強，更容易擴散被檢測到，所以這種方式可以檢測出極微小的漏點。
氦質(zhì)譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。
氦質(zhì)譜檢漏儀具備卓越的靈敏度，其最小可檢漏率為5×10-12Pa·m3/s，能夠精準檢測極其微小的泄漏。在漏率顯示范圍方面，該儀器覆蓋廣泛，從1×10-3Pa·m3/s到1×10-12Pa·m3/s，滿足不同應用場景的需求。儀器啟動時間不超過5分鐘，快速響應，確保高效工作。
氦質(zhì)譜檢漏儀原理及應用方法概覽氦質(zhì)譜檢漏儀，憑借其惰性氣體氦的特性，如無污染、安全、低粘度，已成為真空檢漏領域中靈敏度最高、應用廣泛的儀器。它由離子源、分析器等構成，工作原理基于不同質(zhì)量離子在磁場中的偏轉(zhuǎn)，通過質(zhì)荷比的差異進行檢測。
氦質(zhì)譜檢漏儀原理是基于氦氣作為示蹤氣體，利用質(zhì)譜分析技術來檢測和定位泄漏點。首先，氦氣因其獨特的性質(zhì)在檢漏技術中占據(jù)重要地位。氦氣是一種稀有氣體，在空氣中的含量極低，且具有很小的原子半徑和極高的擴散速度。這些特性使得氦氣極易通過微小的泄漏點，因此成為理想的示蹤氣體。
壓力測試法 壓力測試法是一種常用的檢查氣密性的方法。該方法通過對被測物體施加一定的壓力，觀察其是否泄漏來判斷其氣密性。在進行壓力測試時，需要使用專業(yè)的測試設備，如壓力表、壓力傳感器等。測試時需要先將被測物體密封，然后加壓，最后觀察壓力是否下降，以判斷其氣密性。
檢查氣密性的方法主要有以下幾種： 加熱法。 堵塞法。 氣壓表法。加熱法：這是一種常見的方法，主要應用于簡單的設備或容器。具體做法是對設備或容器進行加熱，然后觀察是否出現(xiàn)氣泡或膨脹。如果出現(xiàn)這些情況，則表明存在泄漏。
以下是一些常用的方法來檢查氣密性： 手感觀察法：用手掌覆蓋住被測試物體的開口，在低氣壓或高氣壓的環(huán)境下，感覺是否有氣體從開口滲透或泄露出來。 水池法：將被測試物體浸入充滿水的容器中，通過觀察水面是否有氣泡產(chǎn)生，來判斷是否存在泄漏。 氣壓差法：利用氣壓差來測定泄漏的程度。
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