缺點(diǎn)在于檢測靈敏度低、檢測結(jié)果不確定及測量環(huán)境影響顯著。超壓法主要用于高壓氦氣瓶、艙口檢漏儀等大容量高壓密閉容器產(chǎn)品的泄漏檢測。 氦質(zhì)譜檢漏真空壓力法：使用真空壓力法進(jìn)行泄漏檢測時，需將整個測試產(chǎn)品放置在真空密封室中，真空密封室連接到輔助排氣系統(tǒng)和泄漏檢測器。
真空質(zhì)譜法的泄漏檢測：真空法檢測泄漏時，需使用輔助真空泵或泄漏檢測器對測試產(chǎn)品的內(nèi)部密封室進(jìn)行真空處理，然后通過氦帽或噴霧法將氦氣施加到測試產(chǎn)品的外表面。若被測產(chǎn)品表面有泄漏孔，則氦氣通過泄漏孔進(jìn)入被測產(chǎn)品，進(jìn)入氦質(zhì)譜儀檢漏儀實(shí)現(xiàn)泄漏測量。真空法檢測過程可分真空注入法和真空氦帽法。
應(yīng)用方法： 噴吹法：在真空狀態(tài)下，通過氦氣掃描定位泄漏點(diǎn)，具有高靈敏度。 吸槍法：在非真空環(huán)境下進(jìn)行檢測，操作簡便，適合局部泄漏檢測。 氦罩法：自動化程度高，適合大規(guī)模生產(chǎn)檢測，提高效率。 背壓法：專為密封部件檢測設(shè)計，重復(fù)性高，確保檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性。
噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中最常用的兩種方法。
氦質(zhì)譜檢漏基本方法包括噴氦法和吸槍法。噴氦法通常用于真空設(shè)備，通過啟動檢漏儀并連接至待檢工件，對內(nèi)部抽真空，從外部噴入氦氣，利用漏點(diǎn)泄漏的氦氣被檢測出來。而吸槍法適用于在正壓下的腔體或管路檢漏，向工件內(nèi)部打入氦氣，使用吸槍在工件表面檢測，漏出的氦氣通過吸槍被檢測儀抽走。
氦質(zhì)譜檢漏儀的原理是基于氦氣作為示蹤氣體，利用質(zhì)譜分析技術(shù)來檢測和定位泄漏點(diǎn)，具體原理如下：示蹤氣體選擇：氦氣特性：氦氣是一種稀有氣體，在空氣中的含量極低，具有很小的原子半徑和極高的擴(kuò)散速度，極易通過微小的泄漏點(diǎn)，因此被選為理想的示蹤氣體。
1、氦檢漏原理主要是基于氦氣的特殊性質(zhì)，即氦氣具有極小的原子尺寸、低的熱導(dǎo)率和良好的擴(kuò)散性，能夠穿透微小的漏洞。在檢漏過程中，氦氣被充入被檢測的系統(tǒng)或部件中，若存在泄漏，氦氣會隨著漏洞逸出，通過使用氦氣檢測器可檢測到逸出的氦氣，從而確定漏洞的存在和位置。
2、氦檢漏原理主要是基于氦氣的特殊性質(zhì)，即氦氣是一種稀有氣體，具有極小的原子尺寸、低的熱導(dǎo)率和良好的擴(kuò)散性，因此能夠穿透微小的漏洞。在檢漏過程中，氦氣被充入被檢測的系統(tǒng)或部件中，如果系統(tǒng)或部件存在泄漏，氦氣會隨著漏洞逸出。通過使用氦氣檢測器，可以檢測到逸出的氦氣，從而確定漏洞的存在和位置。
3、氦檢漏是一種高精度的檢漏方法，常用于檢測密封性要求極高的系統(tǒng)和設(shè)備。氦檢漏的原理基于氦氣分子小、穿透力強(qiáng)且易于檢測的特點(diǎn)。在被檢測的封閉系統(tǒng)中充入一定量的氦氣，若系統(tǒng)存在漏點(diǎn)，氦氣就會通過漏點(diǎn)泄漏到外部。
4、氦質(zhì)譜檢漏儀原理是基于不同質(zhì)量離子在磁場中的偏轉(zhuǎn)，通過質(zhì)荷比的差異進(jìn)行檢測。其應(yīng)用方法包括噴吹法、吸槍法、氦罩法、背壓法、吸槍累積法和真空箱測試法。原理： 氦質(zhì)譜檢漏儀主要由離子源和分析器等構(gòu)成。 利用電離后的氦離子在磁場中形成不同半徑的軌跡。
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