氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種：常規(guī)檢漏：將被檢件與檢漏儀的檢漏口連接，通過(guò)抽真空或充入氦氣的方式進(jìn)行檢測(cè)。逆擴(kuò)散檢漏：將被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測(cè)。這種方式適合檢大型容器或有大漏的器件，也適合吸槍檢漏。
1、缺點(diǎn)在于檢測(cè)靈敏度低、檢測(cè)結(jié)果不確定及測(cè)量環(huán)境影響顯著。超壓法主要用于高壓氦氣瓶、艙口檢漏儀等大容量高壓密閉容器產(chǎn)品的泄漏檢測(cè)。 氦質(zhì)譜檢漏真空壓力法：使用真空壓力法進(jìn)行泄漏檢測(cè)時(shí)，需將整個(gè)測(cè)試產(chǎn)品放置在真空密封室中，真空密封室連接到輔助排氣系統(tǒng)和泄漏檢測(cè)器。
2、氦質(zhì)譜檢漏儀通過(guò)檢測(cè)被檢件中是否含有氦氣來(lái)判斷是否存在泄漏。由于氦氣在空氣中的含量極少（約為5ppm），且化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、質(zhì)量輕、運(yùn)動(dòng)速度快，因此它成為理想的示蹤氣體。當(dāng)被檢件存在泄漏時(shí)，氦氣會(huì)通過(guò)漏孔進(jìn)入被檢件內(nèi)部，隨后被檢漏儀檢測(cè)到。
3、氦質(zhì)譜檢漏還能精確定位漏點(diǎn)，便于后期處理漏孔或改進(jìn)工藝。該方法不受溫度，產(chǎn)品形變，內(nèi)表面放氣的影響，也不會(huì)弄濕或污染工件。
4、氮?dú)錂z漏和氦氣檢漏、鹵素檢漏及水泡法或壓降法檢漏的原理類(lèi)似，均是在被檢工件內(nèi)部充注高壓氣體，只是充注的氣體不同。由這幾種檢漏方法轉(zhuǎn)換為氮?dú)錂z漏非常方便，只要改變氣源，用氮?dú)錂z漏儀進(jìn)行檢漏即可。
5、氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種：常規(guī)檢漏和逆擴(kuò)散檢漏。常規(guī)檢漏：將被檢件與檢漏儀相連，直接向被檢件內(nèi)充入氦氣，然后檢測(cè)從被檢件中泄漏出來(lái)的氦氣。逆擴(kuò)散檢漏：將被檢件接在分子泵出氣口一端，利用分子泵對(duì)不同質(zhì)量氣體的不同壓縮比，使漏入的氦氣逆著泵的排氣方向進(jìn)入質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測(cè)。
6、氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)示漏氣體的要求通常包括：無(wú)害、質(zhì)量輕、惰性氣體、穿透能力強(qiáng)、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、在空氣環(huán)境中含量盡可能少且組分基本恒定。由于氦氣具有無(wú)色、無(wú)臭、無(wú)活性、不可燃的特性，且本底噪聲低、分子質(zhì)量及粘滯系數(shù)小，因此常用作示漏氣體。
1、氦質(zhì)譜檢漏儀是一種高靈敏度的檢漏設(shè)備，其檢漏原理主要基于氦氣的獨(dú)特性質(zhì)和質(zhì)譜分析技術(shù)。以下是氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏原理的詳細(xì)闡述：基本原理 氦質(zhì)譜檢漏儀通過(guò)檢測(cè)被檢件中是否含有氦氣來(lái)判斷是否存在泄漏。由于氦氣在空氣中的含量極少（約為5ppm），且化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、質(zhì)量輕、運(yùn)動(dòng)速度快，因此它成為理想的示蹤氣體。
2、氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種：常規(guī)檢漏：將被檢件與檢漏儀的檢漏口連接，通過(guò)抽真空或充入氦氣的方式進(jìn)行檢測(cè)。逆擴(kuò)散檢漏：將被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測(cè)。這種方式適合檢大型容器或有大漏的器件，也適合吸槍檢漏。
3、氦質(zhì)譜檢漏法是利用氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓測(cè)量原理，測(cè)量被試件的氦泄漏量。當(dāng)被測(cè)零件密封表面存在泄漏時(shí)，泄漏的氦氣和其他氣體將從泄漏處排出。泄漏氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜儀泄漏檢測(cè)器后，僅顯示氣體中的氦分壓信號(hào)值，通過(guò)此信號(hào)可獲得氦氣從泄漏孔的泄漏量。
4、噴氦法：一般用于檢測(cè)體積相對(duì)較小的部件。將被檢器件和儀器連通，在抽好真空后，在被檢器件可能存在漏孔的地方（如密封接頭、焊縫等）用噴槍噴氦。如果被檢器件某處有漏孔，當(dāng)氦噴到漏孔上時(shí)，氦氣會(huì)立即被吸入到真空系統(tǒng)，從而擴(kuò)散到質(zhì)譜室中，氦質(zhì)譜檢漏儀的輸出就會(huì)立即有響應(yīng)。
氦質(zhì)譜檢漏的基本方法主要包括噴氦法和吸槍法。噴氦法 噴氦法（也叫真空法）主要用于對(duì)真空設(shè)備進(jìn)行檢漏。具體操作步驟如下：?jiǎn)?dòng)檢漏儀并把它與被測(cè)工件相連。檢漏儀對(duì)被測(cè)工件內(nèi)部抽真空。此時(shí)對(duì)待檢真空設(shè)備外部各位置進(jìn)行噴氦。當(dāng)噴氦的位置有泄漏時(shí)，氦氣就會(huì)從漏點(diǎn)進(jìn)入被測(cè)工件，從而被檢漏儀檢測(cè)到。
氦質(zhì)譜檢漏儀的應(yīng)用方法主要包括以下幾種：噴吹法 步驟：將被檢件內(nèi)部氣體抽空到一定的真空度，此時(shí)檢漏儀需處于檢漏狀態(tài)。通過(guò)噴槍將氦氣噴掃被檢件的外表面，通過(guò)泄漏點(diǎn)進(jìn)入的氦氣氣流量定位泄漏點(diǎn)。特點(diǎn)：定位泄漏準(zhǔn)確、高靈敏度、操作簡(jiǎn)便。
原理：將示蹤氣體（氦氣）噴于容器外部，用儀器檢測(cè)容器內(nèi)是否有氦氣。這種方式不僅能檢測(cè)漏點(diǎn)，還能精準(zhǔn)測(cè)量漏率。應(yīng)用：適用于檢測(cè)物件工作時(shí)內(nèi)部處于負(fù)壓狀態(tài)的情況，如真空包裝設(shè)備或真空系統(tǒng)等。質(zhì)譜分析技術(shù) 氦質(zhì)譜檢漏儀的核心部件是質(zhì)譜管。
1、步驟：先向被檢件內(nèi)充入一定壓力的氦氣，然后吸槍探頭對(duì)被檢件四周進(jìn)行檢測(cè)。若存在泄漏，氦檢儀會(huì)探測(cè)出外泄的氦氣從而定位泄漏點(diǎn)。特點(diǎn)：定位泄漏準(zhǔn)確、無(wú)需在真空環(huán)境進(jìn)行測(cè)試、操作簡(jiǎn)便。氦罩法 步驟：將被檢件內(nèi)部與氦檢儀相互連接并且抽真空，并把被檢件放入罩殼內(nèi)，同時(shí)將罩殼內(nèi)充滿(mǎn)氦氣。
2、氦質(zhì)譜檢漏儀原理是基于不同質(zhì)量離子在磁場(chǎng)中的偏轉(zhuǎn)，通過(guò)質(zhì)荷比的差異進(jìn)行檢測(cè)。其應(yīng)用方法包括噴吹法、吸槍法、氦罩法、背壓法、吸槍累積法和真空箱測(cè)試法。原理： 氦質(zhì)譜檢漏儀主要由離子源和分析器等構(gòu)成。 利用電離后的氦離子在磁場(chǎng)中形成不同半徑的軌跡。
3、真空箱氦檢漏系統(tǒng)的核心原理是利用氦氣作為示蹤氣體進(jìn)行檢漏。具體過(guò)程為：將氦氣充入待檢測(cè)的工件中，然后將工件置于真空箱內(nèi)進(jìn)行檢測(cè)。通過(guò)高精度的氦質(zhì)譜檢漏儀，可以迅速準(zhǔn)確地判斷工件的泄漏情況，并通過(guò)分析氦氣的分布得出檢測(cè)產(chǎn)品的漏率。
4、綜上所述，氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏原理是基于氦氣的獨(dú)特性質(zhì)和質(zhì)譜分析技術(shù)實(shí)現(xiàn)的。通過(guò)選擇合適的檢漏方法和參數(shù)，可以準(zhǔn)確地檢測(cè)被檢件是否存在泄漏以及泄漏的位置和程度。
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