AEC-Q(氦質(zhì)譜檢漏試驗(yàn))

1、在AEC-Q中，氦質(zhì)譜檢漏試驗(yàn)通常遵循以下流程：準(zhǔn)備階段：對(duì)被檢件進(jìn)行預(yù)處理，如清潔、除油等，以確保試驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性。充氦階段：使用專用加壓容器向被檢件內(nèi)充入一定量的氦氣。檢測(cè)階段：將被檢件放入專用檢漏罐中，對(duì)檢漏罐抽真空后連接到檢漏儀上。檢漏儀開(kāi)始工作，檢測(cè)從被檢件中泄漏出來(lái)的氦氣。

科普:氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏原理

氦質(zhì)譜檢漏儀是一種高靈敏度的檢漏設(shè)備，其檢漏原理主要基于氦氣的獨(dú)特性質(zhì)和質(zhì)譜分析技術(shù)。以下是氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏原理的詳細(xì)闡述：基本原理 氦質(zhì)譜檢漏儀通過(guò)檢測(cè)被檢件中是否含有氦氣來(lái)判斷是否存在泄漏。由于氦氣在空氣中的含量極少（約為5ppm），且化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、質(zhì)量輕、運(yùn)動(dòng)速度快，因此它成為理想的示蹤氣體。

當(dāng)被測(cè)工件有漏時(shí)，泄漏出來(lái)的氦氣就會(huì)通過(guò)吸槍被檢漏儀抽走并被檢測(cè)到。吸槍法的優(yōu)點(diǎn)是可以直接在被測(cè)工件表面進(jìn)行嗅探，適用于各種復(fù)雜形狀和結(jié)構(gòu)的設(shè)備。綜上所述，氦質(zhì)譜檢漏是一種高效、準(zhǔn)確且可靠的檢漏方法，其原理基于質(zhì)譜儀的工作原理，利用氦氣作為示蹤氣體來(lái)檢測(cè)泄漏。

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種：常規(guī)檢漏：將被檢件與檢漏儀的檢漏口連接，通過(guò)抽真空或充入氦氣的方式進(jìn)行檢測(cè)。逆擴(kuò)散檢漏：將被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測(cè)。這種方式適合檢大型容器或有大漏的器件，也適合吸槍檢漏。

步驟：先向被檢件內(nèi)充入一定壓力的氦氣，然后吸槍探頭對(duì)被檢件四周進(jìn)行檢測(cè)。若存在泄漏，氦檢儀會(huì)探測(cè)出外泄的氦氣從而定位泄漏點(diǎn)。特點(diǎn)：定位泄漏準(zhǔn)確、無(wú)需在真空環(huán)境進(jìn)行測(cè)試、操作簡(jiǎn)便。氦罩法 步驟：將被檢件內(nèi)部與氦檢儀相互連接并且抽真空，并把被檢件放入罩殼內(nèi)，同時(shí)將罩殼內(nèi)充滿氦氣。

氦質(zhì)譜檢漏儀的原理是基于氦氣作為示蹤氣體，利用質(zhì)譜分析技術(shù)來(lái)檢測(cè)和定位泄漏點(diǎn)，具體原理如下：示蹤氣體選擇：氦氣特性：氦氣是一種稀有氣體，在空氣中的含量極低，具有很小的原子半徑和極高的擴(kuò)散速度，極易通過(guò)微小的泄漏點(diǎn)，因此被選為理想的示蹤氣體。

氦質(zhì)譜檢漏法是利用氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓測(cè)量原理，測(cè)量被試件的氦泄漏量。當(dāng)被測(cè)零件密封表面存在泄漏時(shí)，泄漏的氦氣和其他氣體將從泄漏處排出。泄漏氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜儀泄漏檢測(cè)器后，僅顯示氣體中的氦分壓信號(hào)值，通過(guò)此信號(hào)可獲得氦氣從泄漏孔的泄漏量。

氦質(zhì)譜檢漏儀的氦質(zhì)譜檢漏方法

1、背壓法 步驟：將被檢件置于壓氦罐中，使用高壓氮?dú)饣驂嚎s空氣吹除被檢件表面附著的氦氣，然后把被檢件放入與檢漏儀相連的檢漏罐內(nèi)進(jìn)行檢漏。特點(diǎn)：高靈敏測(cè)試密封部件漏率的唯一解決方案、高重復(fù)性。

2、氦質(zhì)譜檢漏的基本方法主要包括噴氦法和吸槍法。噴氦法 噴氦法（也叫真空法）主要用于對(duì)真空設(shè)備進(jìn)行檢漏。具體操作步驟如下：?jiǎn)?dòng)檢漏儀并把它與被測(cè)工件相連。檢漏儀對(duì)被測(cè)工件內(nèi)部抽真空。此時(shí)對(duì)待檢真空設(shè)備外部各位置進(jìn)行噴氦。

3、氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種：常規(guī)檢漏：將被檢件與檢漏儀的檢漏口連接，通過(guò)抽真空或充入氦氣的方式進(jìn)行檢測(cè)。逆擴(kuò)散檢漏：將被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測(cè)。這種方式適合檢大型容器或有大漏的器件，也適合吸槍檢漏。

4、準(zhǔn)備階段：將被檢件按照規(guī)定的方法進(jìn)行預(yù)處理，如清潔、干燥等，以確保檢漏結(jié)果的準(zhǔn)確性。充氦階段：根據(jù)被檢件的特性和檢漏要求，選擇合適的充氦方法和壓力進(jìn)行充氦。檢測(cè)階段：將充好氦氣的被檢件放入檢漏儀中進(jìn)行檢測(cè)。檢漏儀會(huì)根據(jù)設(shè)定的參數(shù)和程序?qū)Ρ粰z件進(jìn)行掃描和檢測(cè)，并記錄檢測(cè)結(jié)果。

5、氦質(zhì)譜檢漏儀原理是基于不同質(zhì)量離子在磁場(chǎng)中的偏轉(zhuǎn)，通過(guò)質(zhì)荷比的差異進(jìn)行檢測(cè)。其應(yīng)用方法包括噴吹法、吸槍法、氦罩法、背壓法、吸槍累積法和真空箱測(cè)試法。原理： 氦質(zhì)譜檢漏儀主要由離子源和分析器等構(gòu)成。 利用電離后的氦離子在磁場(chǎng)中形成不同半徑的軌跡。